机器人/预对准器维修和翻新服务，用于：
- Hine 设计公司
- 设备/PRI
- Genmark
- 系统
- 穆格/伊塞尔
视频：
半导体加工工具在很大程度上依赖于自动化，以便在关键环境中提供无需动手的制造能力。
- 洁净室环境：减少污染
- 半导体制造环境：提高可靠性、可重复性和生产率
- 经济环境：在竞争中获得盈利优势
- 技术环境：提高准确性并确保可重复性
我们是了解您的工艺流程的工程师。 Axus Technology 深知将机器人集成到半导体行业制造工具中的重要性。 我们在 FEOL CMP 工艺和 BEOL 晶圆减薄工艺方面拥有数十年的经验，这使我们更加了解在涉及预对准器、拾放式机器人传送系统和多轴关节机器人等集成组件和系统时进行适当维修和翻新的重要性。
我们专门的机器人团队服务包括四个级别，可满足您的特定需求：
- 功能维修和重新校准
- 修复机器人可能存在的特定问题的服务。
- 更换故障部件，重新校准机器人并进行认证。
- 强化维修和预防性维护
- 我们会更换出现故障的部件，找出并修复磨损的组件或已达到预期有效寿命的部件。 我们重新校准和认证。
- 翻新
- 机器人被完全拆卸，经检查后更换需要更换的电机、皮带、滑轮、轴承、轴等。 我们进行校准和认证。
- 再设计/再设计/再利用–增强功能
- 通过与您的工艺和设备工程师协商，在许多情况下，我们都能增强机器人的性能，使其超过制造商的原始设备制造商规格。 这可以使现有机器人快速适应可能需要更强、更快和更可靠性能的新应用。 我们了解您的应用、需求和愿望，然后进行升级和改进，以满足您的性能要求。
预防性维护：
- Axus Technology 提供全面的定期 PM 计划，旨在满足您的需求和标准。 这是一项为满足您的需求而定制的 PM 计划，可作为现场服务或定期计划的 “修复和更换 “计划提供，以确保您的生产线以最佳性能运行，并最大限度地减少计划外停机时间。
- 所有这些计划都提供快速的周转和行业价值保证。 我们了解您的需求，也知道您可能有特殊要求。 我们的能力和因地制宜的应对措施将使您的制造工具以最高效率运行。
- Axus Technology 支持多种机械手；最常见的例子是 Genmark GB4 系列和 GB8，以及 Brooks、PRI、Equipe 和 Asyst 的机械手。 我们还与其他行业标准机器人合作，甚至与工具原始设备制造商制造并集成在其工具内的专有机器人合作。
精度和可重复性等性能指标对于安全处理晶片和基底至关重要。 为了确保维修或翻新工作符合出厂规格，我们会对所有动作进行大量测试和模拟操作循环，以验证机器人和控制器。 我们会根据要求提供相关文件。
Axus Technology 还维修和翻新 OEM 工具制造商制造的专有机器人，这些机器人专为在其特定设备中使用而设计，如左图所示的Strasbaugh 6DS-SP机器人。 如果此处未列出您的机器人，请联系我们，以便我们讨论您的具体需求。
