Axus Technology 的零件和服务部门提供各种服务和升级，使您的 CMP 晶圆抛光机保持高效运行。 我们的行业专家为从小型到大型工厂、研发实验室和大学研究中心使用的多个抛光机品牌提供服务，包括 Westech/IPEC、SpeedFam/IPEC、Strasbaugh/Revasum 和 Applied Materials。 我们提供的设备服务范围广泛，包括现场服务支持、机器人维修、压盘修复、CMP 衬垫调节臂服务、计算机维修、升降台和第二工作台修复，以及 BAM 维修、边缘抓握棒、Nsk 电机/控制器维修、HCLU 修复、USA amp 维修和备件。 为满足您对 CMP 抛光机修复和性能的需求，可提供易碎晶片升级、CMP 研磨垫调节器升级和晶片载体升级等增强功能。
