泥浆输送系统

在 CMP 加工过程中，抛光浆料的正确混合和分配至关重要。 CMP 工艺的一致性、可重复性和可预测性要求对抛光浆料的比重、温度、流速、液体中的颗粒分布以及在抛光垫表面的分布进行精确控制。 泥浆输送系统通常从一个大型日用水箱中注入泥浆，然后使用螺旋桨以可控速度混合和搅拌泥浆，再用蠕动泵或 Levitronix 泵将泥浆输送到抛光垫表面。

当罐子寿命或化学品储存成为问题时，可以使用更复杂的系统。 连续进料系统可自动加注多种类型的泥浆，对大规模生产运营非常有价值。