斯特拉斯堡 6EG

Axus Technology 的 6EG 型 CMP Planarizer 经过再制造，为有限生产工厂和研究小组在 300 毫米基板上抛光薄膜提供了一种经济的方法，抛光效果可与数百万美元生产级别的 CMP 工具相媲美。 泰坦 “先进的膜晶片载体升级版显著改善了工艺和生产率。

半自动装载/卸载功能与可通过彩色触摸屏图形用户界面对 PC 控制器进行编程的自动抛光循环排序功能相结合，为工艺工程师提供了高产能、大占地面积、昂贵的生产级 CMP 工具的功能和优势。 Axus Technology 的 6EG 型抛光机是经济实惠的解决方案，在小尺寸抛光工具中提供了最先进的 CMP 优势，而且价格极具吸引力

标准配置包括

• 闭环工作台驱动电机和主轴驱动电机有助于确保一致的加工结果。
• 可编程衬垫调节系统提供原位和/或非原位可编程选择性衬垫调节，用于
  • 稳定的清除率
  • 优化晶片内非均匀性 (WIWNU)
  • 23 个可选择的调节参数区，如穿越时间、停留时间、下压力和转速。
• 坚固的设计和优质的部件有助于最大限度地减少维护需求，从而降低总拥有成本
• 相对较小的占地面积非常适合较小的实验室空间和典型的研发环境