CMP 垫调节臂服务
Axus Technology 为应用材料公司 200mm 和 300mm CMP 工具上的衬垫调节臂提供维修和再制造服务。 全面改造服务包括一个组件套件，用于更换所有基本机械组件，包括轴承、密封件和其他常规更换项目。 此外，还对每个机械臂进行操作测试和检查，以确定需要注意的其他项目。 这些项目，包括电机、谐波驱动装置以及任何涂层或磨损的部件，都会作为再制造流程的一部分加以识别和处理。 对于 300 毫米的机械臂，通常会去除原装机械臂涂层，代之以更耐用、更易清洁的涂层。
每个衬垫调节器组件都经过测试、序列化，并以 “接近全新 “的状态交付，以便在 CMP 工具中进行更换。 维修周期一般为 5 周。
垫片调节器重建过程
即将进行的评估：
- 运行测试和审计
- 目视检查，包括完全拆卸
重建过程
- 基础改造套件的应用（O 形圈、轴承、易损件…）
- 更换任何故障、磨损或损坏的组件，如电机和谐波驱动装置
- 必要时对部件进行重新涂层。 (对于 300 毫米臂，通常在所有 “首次改造 “臂上对整个臂进行重新涂层）。 原设备上的涂层被升级后更耐用的涂层所取代。 升级后的涂层具有更好的附着力和耐化学性，而且更耐用
- 对产品进行跟踪，并在需要时进行序列化
Axus Technology 垫调节器重建计划可提供用户所需的稳定运行和生产性能。 向 CMP 用户提供的几项经过验证的优势包括
成果
- 可重复的生产就绪垫调节器性能
- 工具与工具之间的焊盘调节器运行一致
- 提高衬垫调节器的可靠性，减少维护需求
对每个衬垫调节器进行性能跟踪，以确保长期可靠性
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