2020年11月4日，美国亚利桑那州钱德勒 – Axus Technology（Axus）是为半导体应用提供CMP、晶圆减薄和晶圆表面处理解决方案的全球领先供应商，很高兴能与通用电气研究院、通用电气航空系统公司和InertiaWave公司合作生产创新型单芯片设备。 SEMI 通过其 MEMS 与传感器行业小组 (MSIG) 和 FlexTech 小组为解决 PNT（定位、导航和定时）难题提供了一个绝佳的机会和平台，为 GPS 信号缺失的环境提供了创新解决方案。 通过利用 Axus CapstoneTM CMP 系统、Avalon Carriers 和光学端点系统提高先进 PNT 器件设计和材料的抛光性能，Axus 的尖端 CMP 系统帮助克服了传统 CMP 步骤的技术限制问题，从而为研究做出了贡献。
作为 SEMI PNT 项目和政府资助项目的一部分，GE Global Research 的低 SWAP-C MEMS 陀螺仪（FT19-20-P194）课题获奖。
“这是Axus Technology每天都在进行的有趣、领先的工艺和技术开发的又一个很好的例子。这在很大程度上得益于我们最先进的 CapstoneTM CMP 系统，以及业内设备最完善的 CMP 工艺开发代工厂，并由经验最丰富、技术最熟练的工艺和设备工程团队提供支持，”Axus 总裁兼首席执行官 Dan Trojan 评论说。
关于 Axus Technology
Axus Technology 是公认的 CMP、晶片减薄和晶片清洁应用设备和工艺解决方案的行业领导者。 Axus 帮助各种规模的公司（从初创企业到大批量生产企业）测试、开发和实施领先的解决方案，尤其是针对新型和新兴材料、工艺集成方案、产品和应用的解决方案。 设备解决方案包括从低成本入门级工具到最先进的大批量生产系统。 我们的工艺应用实验室和铸造厂为工艺测试、开发、优化和扩展提供支持，其中包括全套工艺设备和辅助计量设备，并配备了业内经验最丰富的团队。 欲了解更多信息，请访问www.axustech.com。
媒体关系联系人：
销售与营销副总裁 Jim Kelly|JKelly@axustech.com
