压盘修复计划
Axus Technology 的压盘修复计划可使压盘恢复到 OEM 指定的平面度和表面光洁度，同时显著降低移除垫片所需的力。 经过改良的特氟龙涂层表面经久耐用、耐化学腐蚀，从而简化了移除衬垫的工作。 用户测量结果显示，取下一个普通垫子所需的拉力从 40 磅减少到 9 磅。
压盘可单独或成套返回 Axus Technology 进行修复。 Axus 工程师会在加工前检查每个压盘，以确定可能需要进行的任何维修。 如果需要维修，工作范围将作为附加项目报价。 所有压盘在重新认证和返还给最终用户之前都要经过重新检查。
典型的维修包括修复压盘表面的沟槽或深度划痕，以及修复其他偶然造成的压盘损坏。 这些压盘上的涂层也会被剥掉，然后平铺，最后再进行表面抛光。
我们为 Mirra 3400 CMP 工具、IPEC 472、IPEC 372M、Strasbaugh 6EC、Strasbaugh 6DSSP 和 SpeedFam Auriga 提供压盘修复服务。 如果压盘无法正常修复，Axus Technology 可以提供新的压盘更换件。
