可定制的 Cosmo-3 泥浆输送系统

让泥浆配送不再混乱！

Axus Technology Cosmo-3 可定制浆料输送系统是一种终极的精密混合和分配系统，专为具有大批量 CMP 应用的晶片制造工厂而设计。 我们知道，”一刀切 “的解决方案并不适合所有情况。 Cosmo-3 采用三个模块的组合，可完全根据客户要求定制。

• CBU+ 混合和分配模块，最多配备一个 10 升氧化剂罐、一个 25 升混合罐和一个 100 升分配罐
• CDU 桶模块，可提供最大 1000 公斤的化学品输送选项
• 控制模块，最多可管理 6 个子模块（2 个 CBU+ 混合与分配模块和 4 个 CDU 鼓模块），功耗低。 计量选项可确保浆料混合的准确性和质量，实现批次间的一致性。

模块化设计可实现灵活的布局选项，并为未来的扩展提供便利。 现在，终端用户可以根据自己的需要定制产品，并通过板载精密控制装置，为多个 CMP 系统经济地生产自己需要的批量产品。

Axus Technology Cosmo-3 泥浆输送系统的优点还包括克服各种氧化剂经常出现的化学放气问题。 Cosmo-3 的闭环磁悬浮泵系统可为众多工具套件提供稳定的压力和流量。 该系统采用了 Levitronix 最先进的泵送技术，并配有在线过滤系统。 Axus Technology Cosmo-3 浆料输送系统产生的低剪切力最大程度地减少了浆料颗粒的聚集，从而减少了微刮伤，提高了工艺产量。

标准配置包括

• 储罐和浆料管线的自动冲洗程序可防止浆料残留和结块
• 工艺罐称重系统
• 储罐和浆料管线的自动冲洗程序可防止浆料残留和结块
• 最先进的计量技术可实现精确的混合精度、pH 值、密度和浓度，使用户能够将批次控制在关键的精度水平上

可选功能包括

• 采用 Levitronix 可配置泵槽混合器装置的桶内混合硬件
• 氧化剂浓度监测仪
• 密度监测器
• pH 监测器
• 加湿 N2 毯
• 用户定义的关键绩效指标数据收集和监测包
• 远程诊断服务
• 泵或过滤器冗余
• 远程 HM
• 带自动供应转换功能的周转箱称重