化学品混合车

Axus Technology 提供 30 加仑的化学品混合车系统。 从用于为大学或研发环境等单一化学品供料的基本系统，到用于大型多工具装置的多罐系统。 化学品由螺旋桨驱动的搅拌器混合并保持悬浮状态。 可选项包括保持环境条件一致所需的基本温度控制系统，以及需要降低或升高温度的化学应用。 Axus 化学混合与搅拌车系统既适用于高 pH 值配方，也适用于低 pH 值配方。

Axus Technology 还提供 “自动使用点 “混合和输送系统，建议用于多种 CMP 抛光浆料类型和成分。 这些选件包括动态浆料混合车、Gemini-2 双浆料输送系统和 Cosmo-3 可定制浆料输送系统，专门为具有大批量 CMP 应用的晶圆制造工厂而设计。

标准配置包括

• 与 CMP 工具的电气和管道连接
• 脚轮安装平台
• 采用不锈钢螺旋桨进行水槽内搅拌
• 耐酸碱储水箱

可选功能包括

• 温度控制
• 自动加注
• 可密封，用于加压 N2
• 多油箱配置