Ontrak DSS200 2 系列
OnTrak DSS 200 Series 2 双面 PVA 洗涤器在清除浆料颗粒方面的清洁效果经过生产验证。 根据不同的应用，每小时可处理 45-65 个晶圆，这使得 DSS-200 Series 2 成为用于 100 毫米到 200 毫米晶圆的最具成本效益的晶圆清洗系统。
DSS-200 Series 2 可以满足各种清洗工艺应用的需要，例如
- CMP 后清洗：氧化物、多晶硅、氮化物、钨、铝和铜
- 通用清洗：CVD 前和 CVD 后氧化物、后金属化、表面形貌、沟槽
- 硅清洁：原硅、硅回收、晶圆厂监控器回收
标准配置包括
- 200 毫米人体工程学装载台
- 双面 PVA 擦洗
- 双刷盒
- 深色塑料盖保护感光晶片
- 氨气分配
- 红外辅助旋转干燥站
- 机器人卸载
- 垂直卸载站
- 触摸屏控制
