ONTRAK DSS200 系列 1

OnTrak DSS 200 1 系列双面 PVA 洗涤器专为清洁 100 毫米至 200 毫米晶片而设计。 它能为各种应用提供一致的超洁净加工。

DSS-200 Series 1 是一种经过验证的、经济高效的清洁系统，适用于以下应用：

• 后 CMP 清洁：氧化物、多晶硅、氮化物、钨、铝和铜
• 通用清洗：CVD 后氧化物、金属化后、表面形貌清洗、沟槽清洗
• 硅清洁：原硅、硅回收、晶圆厂监控器回收

标准配置包括

• 通用装载台 – 双面 PVA 擦洗
• 双刷盒
• 氨水
• 红外辅助旋转干燥站
• 机器人卸载
• 垂直卸载站
• 触摸屏控制