宝瓶座™ A200-sa
创新的 Axus Technology Aquarius™ 晶圆清洗机在 100 毫米、150 毫米和 200 毫米晶圆清洗的各个方面，包括缺陷率和产量方面都有改进。 Aquarius™ 可同时运行两种不同尺寸的晶片，从而提高了晶片清洗过程的效率。 Axus Technology 在工程设计方面取得的巨大进步影响了晶圆清洁设备的未来发展方向，Axus Technology 很荣幸能将最好的晶圆洗涤器推向市场。
标准配置包括
- 四个刷盒，可对所有关键工艺变量进行全面配方控制
- 两个脱水-冲洗-烘干站
- 两个湿盒站进，两个干盒站出
- 配备双末端执行器的高速晶圆输送机器人
- 所有操作都可以通过图形用户界面手动完成
- 电刷/晶片接触的三种不同控制模式：位置、电刷扭矩和接触力
可选功能
- 机载稀释功能
- 平面探测器/原始码器
- SMIF 版本
- 综合计量学
尺寸70 英寸宽 x 56 英寸深 x 98 英寸高
