斯特拉斯堡 6EC

Strasbaugh 6EC CMP 系统是用于 CMP 研究、故障分析和小批量生产的经济型单晶片加工工具。 这款 Strasbaugh 抛光机提供半自动操作，可通过彩色触摸屏图形用户界面进行编程，实现可重复和精确的过程控制。 6EC 型是一种经济实惠的 CMP 抛光解决方案，能以低成本提供最先进的 CMP 优点。

标准配置包括

• 闭环工作台和主轴驱动装置有助于确保一致的加工结果
• 可编程焊盘调节提高了焊盘的使用寿命，改善了 WIWNU
• 最少的维护降低了拥有成本
• 占地面积小，为小型实验室提供方便
• 焊盘调节系统提供原位和/或非原位可编程选择性焊盘调节，以实现一致的去除率和最小的不均匀性。 20 个可编程控制区域：每个区域可编程设置停留时间、下压力和转速。 可使用镀钻圆盘或尼龙刷对衬垫进行调节

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