2020年9月30日，美国亚利桑那州钱德勒 – Axus Technology（Axus），一家为半导体应用提供CMP、晶圆减薄和晶圆抛光表面处理解决方案的全球领先供应商，今天宣布与Compound Photonics US Corporation（CP，又称CP Display）建立合作伙伴关系，后者是一家为增强现实和混合现实（AR/MR）提供紧凑型高性能微显示解决方案的领先供应商，旨在加速5微米以下像素microLED的开发，并将其推向大众市场。
Axus和CP正在合作整合CP用于下一代AR眼镜的2微米像素1080p microLED显示屏量产所需的关键晶圆级工艺。 具体而言，Axus 将部署其最先进的 Capstone™ CMP 系统，该系统集成了后 CMP 清洁功能，可实现晶圆平面化和表面制备工艺解决方案，从而成功实现 microLED 晶圆与高性能 CMOS 背板的晶圆级粘合。
为了加速开发，Axus 和 CP 将在位于亚利桑那州钱德勒的 CP MicroLED 增强现实加速创新中心（MiARA）进行合作。 约15,000平方英尺的100级无尘室设施为Axus、CP和其他资本设备供应商提供了基础设施，使其能够在硅谷沙漠进行先进的工艺开发，毗邻全球领先的半导体制造商。
Axus 先进的 CMP 加工能力是实现 CP 专有的小像素、不依赖外延基底的 microLED 集成工艺方案的关键。 Capstone CMP 系统具有多个晶片的可重复性和晶粒/晶片内的平面度性能，能够可靠地在 microLED 和 CMOS 背板晶片之间键合数百万微米级的电触点。 这解决了大规模生产工艺的一个关键要求，即持续生产具有所需的视觉均匀性的微型显示器模块，而这正是紧凑型、低功耗、高亮度 AR/MR 近眼应用所需要的。
Axus 和 CP 自 2020 年初开始合作，开发 microLED 阵列与 CMOS 背板晶片之间的晶片级粘合工艺集成。 今天的声明进一步证明了两家公司在推进 microLED 显示屏制造工艺和集成方面的领导承诺。
Axus技术公司总裁丹-特洛伊（Dan Trojan）评论道：”鉴于microLED的开发和商业化具有巨大的增长潜力和令人兴奋的技术进步，我很高兴Axus Technology有机会为这一领域的许多（如果不是大多数）技术公司提供支持。 Axus 是与 CMP 相关的先进技术和工艺创新的领导者，为 microLED 及其解决方案提供支持。 随着我们新推出的最先进的 Capstone™ CMP 系统，我们现在还能提供最适合在研发、试生产和大批量生产应用中实施此类工艺的设备。 我们很高兴有机会继续并扩大与复合光子技术公司的关系和互动，我们认为复合光子技术公司是这一激动人心的领域的领导者和先驱。
Axus Technology 工艺技术总监 Peter Wrschka 补充说：”Axus 与 CP 之间的协同作用将产生速度和性能都前所未有的显示器件。Axus 在晶圆键合的表面制备和后续基板移除方面拥有多年的经验，这是成功制造下一代微型显示器所必需的。双方的合作将大大缩短单片集成 microLED 显示器的上市时间。
CP Display 产品开发总监 Julie Chao 评论说：”我们很高兴能与 Axus 合作开发 CMP 和清洁解决方案，使 CP 的 CMOS 背板能够粘合到任何 5 µm 以下像素的 microLED 晶圆上。通过在 MiARA 中的合作，工艺改进周期自然会加快。这对于满足从开发人员到最终客户的市场进度要求至关重要。
MicroLED 不断成为最有潜力的显示解决方案，可满足 AR/MR 应用的关键要求。 制造工艺的创新对于降低成本和实现 AR/MR 头戴式设备商业化的批量生产至关重要。
关于 Axus Technology
Axus Technology 是公认的 CMP、晶片减薄和晶片清洁应用设备和工艺解决方案的行业领导者。 Axus 帮助各种规模的公司（从初创企业到大批量生产企业）测试、开发和实施领先的解决方案，尤其是针对新型和新兴材料、工艺集成方案、产品和应用的解决方案。 设备解决方案包括从低成本入门级工具到最先进的大批量生产系统。 我们的工艺应用实验室和铸造厂为工艺测试、开发、优化和扩展提供支持，其中包括全套工艺设备和辅助计量设备，并配备了业内经验最丰富的团队。 欲了解更多信息，请访问www.axustech.com。
媒体关系联系人：
销售与营销副总裁 Jim Kelly |JKelly@axustech.com
关于化合物光子学
Compound Photonics (CP)，又称 CP Display，是紧凑型高分辨率微显示技术的领先供应商。 CP 的微型显示器解决方案针对增强现实和混合现实市场进行了优化，这些市场对高性能、小尺寸和低功耗要求极高。 Compound Photonics 的微型显示器使工程师能够创新和创造改变游戏规则的消费和工业产品，从而大大提高人们的生产力和生活方式。 如需了解更多信息，请致电 (602)389-8700 或访问他们的 LinkedIn 页面https://bit.ly/3iaZPnP。
媒体关系联系人：
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