2020 年 2 月 6 日，美国加利福尼亚州旧金山： Plessey 是一家嵌入式技术开发商，在面向增强现实 (AR) 和显示器市场的 microLED 技术领域处于领先地位，该公司宣布与 Axus Technology（Axus）建立合作伙伴关系，后者是面向半导体应用提供 CMP、晶片减薄和晶片抛光表面处理解决方案的全球领先供应商，将高性能硅基氮化镓 (GaN-on-Silicon) 单片 microLED 技术推向大众市场。
Plessey 继续大力投资其制造工厂，通过购买 Axus 的金属和氧化物化学机械抛光 (CMP) 及相关工具来提高其专有的 microLED 显示能力，从而实现 microLED 晶圆与高性能 CMOS 背板的晶圆级粘合。
已经部署了许多 Axus CMP 和 Scrubber 系统，以实现关键的晶圆平面化，并为晶圆级粘接做好准备。 晶圆级键合带来了巨大的技术挑战，即使使用正确的设备，也需要广泛的专业知识和精良的工艺。 在 2019 年安装系统后不久，Plessey 便实现了全球首款功能性晶圆级硅基氮化镓单片 1080p 0.7 英寸对角线 8 微米像素间距 microLED 有源矩阵显示屏。
Plessey 进一步优化了这些系统和工艺，成功地将对角线为 0.26 英寸、尺寸更小的单色原生绿色 1080p microLED 显示器与 Compound Photonics 设计的 3 微米像素间距背板显示系统实现了晶圆到晶圆的键合，产生了超过 200 万个单独的电键合。
Plessey/Axus 合作伙伴关系的建立促进了各种材料的关键 CMP 工艺的发展，这些材料是实现 Plessey 专有单片硅基氮化镓技术的关键。 两家公司的工程师通力合作，在 Axus 位于亚利桑那州钱德勒的 CMP 铸造厂和 Plessey 位于英国的半导体制造厂成功实现了这些目标。
展望未来，双方的合作将支持在现有的Axus成套设备上以及在不久的将来在Axus于2019年底投放市场的新型先进、高灵活性/高产能的Capstone CMP系统上进行大批量生产的技术升级。
将微型 LED 阵列晶片与 3 微米像素间距背板进行电气和机械粘合
Plessey 原生绿色 0.26 英寸有源矩阵显示屏
Axus Technology总裁丹-特洛伊（Dan Trojan）说： “我们很荣幸 Plessey 能够在我们的工具平台、工艺工程能力和资源的帮助下，实现这些关键的 microLED 技术进步。我们将与 Plessey 的工程师密切合作，对他们当前的工具进行升级，随后在 Capstone 上推广这项技术。”
Plessey 首席运营官 Mike Snaith 解释说： “凭借我们的创新方法和决心，这些工具平台使 Plessey 能够推进其世界领先的硅基氮化镓单片 microLED 专有技术。我们不断扩大对英国制造工厂的投资，使 Plessey 能够快速创新，为 AR 和其他显示应用提供领先技术。”
MicroLED 技术正不断崛起，成为当今智能高性能显示应用最有可能的继任者，使显示屏的外形尺寸更小、亮度更高、能效比现有显示技术更高。
关于普莱西
Plessey 是一家屡获殊荣的全场发射型 microLED 显示器供应商，其产品结合了超高密度 RGB 像素阵列和高性能 CMOS 背板，可为头戴式显示器 (HMD) 以及增强现实 (AR) 和虚拟现实 (VR) 系统提供超高亮度、低功耗和高帧速率的图像源。 Plessey 拥有先进的 150 毫米和 200 毫米晶圆加工设施，可进行 LED 产品的设计、测试和组装，还拥有一整套光子特性和应用实验室。 欲了解更多信息，请访问 Plessey 的网站、Twitter、Facebook 和 LinkedIn 页面。
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关于 Axus
技术 Axus Technology 是公认的 CMP、晶片减薄和晶片清洁应用设备和工艺解决方案的行业领导者。 Axus 帮助各种规模的公司（从初创企业到大批量生产企业）测试、开发和实施领先的解决方案，尤其是针对新型和新兴材料、工艺集成方案、产品和应用的解决方案。 设备解决方案包括从低成本入门级工具到最先进的大批量生产系统。 我们的工艺应用实验室和铸造厂为工艺测试、开发、优化和扩展提供支持，其中包括全套工艺设备和辅助计量设备，并配备了业内经验最丰富的团队。 欲了解更多信息，请访问 www.axustech.com。
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