迪斯科 DFG8540
Disco DFG8540 系统是一种全自动进料平面磨床。 DFG8540 采用传统的双主轴、三卡盘设计，既能进行大直径磨削，也能进行薄壁磨削。 砂轮的加工位置与每个主轴的卡盘工作台一致，从而提高了磨削性能。
标准配置包括
- 直径达 200 毫米晶圆的自动减薄
- 处理 100 微米及以下的超薄晶片
- 提供 DBG 选件，可用于等离子体
- 平面/缺口对齐方向
- 内部研磨水喷嘴
- 卡盘/旋转台
- 定位和停止系统
- 2 个空气轴承磨削主轴，3 个旋转卡盘工作台
可选功能
- 带自动液体分离装置的真空系统
- 用于稳定工艺结果的温度控制系统
- 过滤系统
